?!DOCTYPE html PUBLIC "-//W3C//DTD XHTML 1.0 Transitional//EN" "//www.w3.org/TR/xhtml1/DTD/xhtml1-transitional.dtd"> 云南快乐十分历史记录:高精度激光长度测量干涉仪 - 工程应用 - 广东快乐十分走势图云南快乐十分走势广东快乐十分走势图云南快乐十分一定牛云南快乐十分单双
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云南快乐十分历史记录: 高精度激光长度测量干涉仪

2014/11/13 20:21:44  来源?/span>计测网通讯?/a> 

广东快乐十分走势图 www.4sny7.cn   自从激光器问世以来,特别是近几年德频激光器付之实用后,干涉精密测量取得了重大的进展。目前,激光干涉系统已广泛应用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、两轴正交性、光洁度等几何量的精密测量,机械加工中工件尺寸的控制和切削参数的测量,精密机床、坐标测量机的校正,集成电路制作中的精密定位,以及振动、速度、加速度、重力、压力、材料线膨胀系数等物理量的精密测定。本文叙述几种新的高精度激光长度测量干涉仪,这些干涉系统当然也可以应用于其它精密测量领域?/p>

  条纹计数干涉?/strong>

  

  

  如图1所示,从稳频激光器发出的激光束被分光器分成参考光束和测量光束两路。在参考光路中插入一块半波片,而在由分光器反射的接收光路中加置一块偏振分光器。这样,由  探测???得到三个彼此正交的信号。经放大器放大后送入差分电路,得到两个正交信号。然后送入可逆计数器进行计数、辨向和细分。这样设计的干涉仪能大大抑制杂光、电  子设备的漂移和噪声的影响。因此,测量精度?.1微米,而且甚至在干涉仪一臂中光强减户?5%仍能正常维持条纹的计数。可动反射器的移动速度最大允许达300毫米/?

  

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